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chc33

新虫 (初入文坛)

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[求助] 光刻工艺

请问光刻胶的曝光时间和软烘时间有关系吗？是不是在其他条件不变的情况下，软烘时间越长需要的曝光时间也越长？望指导！谢谢

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1楼 2012-09-13 12:11:51

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引用回帖:

4楼: Originally posted by yswyx at 2012-09-18 19:12:49
soft baking在理论上来说是去除溶剂，但不仅仅是去除溶剂的过程。软烘时间长对光刻曝光时间和显影时间的影响是很大的，而对于不同成膜树脂的胶，这种影响又有所不同。
传统的我们用到的光刻胶，软烘时间长，不仅仅 ...

衷心谢谢您耐心的回答，真的谢谢了！顺便问一下，在光刻工艺中对于正胶而言，一定需要后烘吗？后烘的作用是什么？希望能得到您的指教。谢谢！

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5楼2012-09-18 19:29:48

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