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月下冰魂木虫 (正式写手)
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[求助]
GIXRD与XRR的区别
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请问GIXRD（掠入式XRD）和XRR有什么区别！我要测量单晶材料，薄膜，大概20-30纳米，生长在单晶硅片上，需要测量薄膜厚度与应力，我用XRR测量出了厚度，但是应力怎么计算出来呢？ GIXRD是不是可以哇？  |
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月下冰魂
木虫 (正式写手)
- 应助: 49 (小学生)
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- 红花: 19
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- 在线: 158.4小时
- 虫号: 1191993
- 注册: 2011-01-18
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2012-09-12 11:42:45
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
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2楼2012-09-12 10:02:04
4楼2017-08-16 17:03:19
5楼2019-04-04 01:53:18
