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月下冰魂木虫 (正式写手)
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GIXRD与XRR的区别
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请问GIXRD(掠入式XRD)和XRR有什么区别!我要测量单晶材料,薄膜,大概20-30纳米,生长在单晶硅片上,需要测量薄膜厚度与应力,我用XRR测量出了厚度,但是应力怎么计算出来呢? GIXRD是不是可以哇? |
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【答案】应助回帖
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月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
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2楼2012-09-12 10:02:04
月下冰魂
木虫 (正式写手)
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