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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » GIXRD与XRR的区别
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] GIXRD与XRR的区别

请问GIXRD（掠入式XRD）和XRR有什么区别！我要测量单晶材料，薄膜，大概20-30纳米，生长在单晶硅片上，需要测量薄膜厚度与应力，我用XRR测量出了厚度，但是应力怎么计算出来呢？
GIXRD是不是可以哇？
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奋斗。。。
1楼 2012-09-11 21:04:36
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闲着的哲人

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
http://blog.sina.com.cn/s/blog_502547360100gpbf.html
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2楼2012-09-12 10:02:04
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月下冰魂

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 闲着的哲人 at 2012-09-12 10:02:04
http://blog.sina.com.cn/s/blog_502547360100gpbf.html

GIXRD讲得很详细，但是请问XRR测量的适宜条件，它与GIXRD又有什么区别呢！
谢谢！
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奋斗。。。
3楼2012-09-12 11:42:45
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H·Z·K

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2012-09-12 11:42:45
GIXRD讲得很详细，但是请问XRR测量的适宜条件，它与GIXRD又有什么区别呢！
谢谢！...

XRR测量薄膜厚度相关原理的文献有没有呀？可以发给我吗？
hezhikang475@163.com
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4楼2017-08-16 17:03:19
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Oyster0521

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 闲着的哲人 at 2012-09-12 10:02:04
http://blog.sina.com.cn/s/blog_502547360100gpbf.html

您好，链接打不开了，看3楼的回复应该是关于GIXRD的详细资料，请问还有没有啊，求发一份到oyster0521@126.com。------来自2019的可怜虫
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5楼2019-04-04 01:53:18
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