| 查看: 5321 | 回复: 4 | ||
月下冰魂木虫 (正式写手)
|
[求助]
GIXRD与XRR的区别
|
|
请问GIXRD（掠入式XRD）和XRR有什么区别！我要测量单晶材料，薄膜，大概20-30纳米，生长在单晶硅片上，需要测量薄膜厚度与应力，我用XRR测量出了厚度，但是应力怎么计算出来呢？ GIXRD是不是可以哇？  |
回复此楼
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
感谢参与，应助指数 +1
月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
2楼2012-09-12 10:02:04
月下冰魂
木虫 (正式写手)
- 应助: 49 (小学生)
- 金币: 3111.7
- 散金: 113
- 红花: 19
- 帖子: 444
- 在线: 158.4小时
- 虫号: 1191993
- 注册: 2011-01-18
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2012-09-12 11:42:45
4楼2017-08-16 17:03:19
5楼2019-04-04 01:53:18
