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月下冰魂

木虫 (正式写手)

[求助] GIXRD与XRR的区别

请问GIXRD(掠入式XRD)和XRR有什么区别!我要测量单晶材料,薄膜,大概20-30纳米,生长在单晶硅片上,需要测量薄膜厚度与应力,我用XRR测量出了厚度,但是应力怎么计算出来呢?
GIXRD是不是可以哇?
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奋斗。。。
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闲着的哲人

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
月下冰魂: 金币+15 2012-10-22 23:09:48
2楼2012-09-12 10:02:04
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月下冰魂

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 闲着的哲人 at 2012-09-12 10:02:04
http://blog.sina.com.cn/s/blog_502547360100gpbf.html

GIXRD讲得很详细,但是请问XRR测量的适宜条件,它与GIXRD又有什么区别呢!
谢谢!
奋斗。。。
3楼2012-09-12 11:42:45
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H·Z·K

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 月下冰魂 at 2012-09-12 11:42:45
GIXRD讲得很详细,但是请问XRR测量的适宜条件,它与GIXRD又有什么区别呢!
谢谢!...

XRR测量薄膜厚度相关原理的文献有没有呀?可以发给我吗?
hezhikang475@163.com
4楼2017-08-16 17:03:19
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Oyster0521

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 闲着的哲人 at 2012-09-12 10:02:04
http://blog.sina.com.cn/s/blog_502547360100gpbf.html

您好,链接打不开了,看3楼的回复应该是关于GIXRD的详细资料,请问还有没有啊,求发一份到oyster0521@126.com。------来自2019的可怜虫
5楼2019-04-04 01:53:18
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