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氧化铝基片的翘曲问题
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| 各位大侠,请教下氧化铝基片在主烧过后会向薄膜面翘曲,但是通过修正窑修正后却又会向空气面翘曲。本来想要修正好的,结果反而翘向另一个方向。求解释,是否与修正中的降温过程有关呢? |
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