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氧化铝基片的翘曲问题
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wj564829864
铁虫
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[交流]
氧化铝基片的翘曲问题
各位大侠,请教下氧化铝基片在主烧过后会向薄膜面翘曲,但是通过修正窑修正后却又会向空气面翘曲。本来想要修正好的,结果反而翘向另一个方向。求解释,是否与修正中的降温过程有关呢?
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2012-09-07 23:28:49
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rwjghost
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wj564829864(金币+1): 谢谢参与
氧化铝基片是流延片?
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2楼
2012-09-08 09:35:06
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2楼
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Originally posted by
rwjghost
at 2012-09-08 09:35:06
氧化铝基片是流延片?
对,是流延片,助剂是镁铝硅钙系,有机溶剂。现在就是主烧过后的样品本来希望通过修正提高良率的,结果修正后样品却向相反的方向翘曲,很是费解。望帮忙分析啊。
或者大侠可否指教下如何控制主烧过程中的翘曲问题。
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3楼
2012-09-08 11:13:59
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2012-09-08 11:14:56
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升降温控制,你再复烧啊。。。
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7楼
2012-09-09 08:30:35
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scarecrow143
至尊木虫
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2012-09-09 15:48:57
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mailinator
5楼
2012-09-08 16:05
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gcworm
6楼
2012-09-08 18:02
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