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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 玻璃基片上薄膜样品的TEM测试？
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lilykiddy

金虫 (小有名气)

[交流] 玻璃基片上薄膜样品的TEM测试？

样品为玻璃基片上的薄膜，玻璃基片为2mm，薄膜样品为600nm左右，我想观测薄膜的表面形貌，利用TEM，怎么制样？
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1楼 2007-05-30 09:07:55
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lxacer

新虫 (初入文坛)
可以竖起来从断面来看薄膜的，这个可能要切割出一个断面，制作成三明治的结构。你可以咨询TEM的老师，他们会给你制作。当然你要自己切除断面来。
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6楼2007-05-30 16:31:47
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temedx

专家顾问 (著名写手)
看形貌为什么不用SEM？TEM适用观察里面的结构特征。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
2楼2007-05-30 09:56:19
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robinsonguo

木虫 (著名写手)
薄膜太厚了，
可以做薄一点。

用玻璃刀划基片，井字形，
然后放到HF＋H2O中腐蚀，
薄膜会脱落下来，
然后用铜网打捞，
这样就可以做TEM了。
引用回帖:
Originally posted by lilykiddy at 2007-5-30 09:07 AM:
样品为玻璃基片上的薄膜，玻璃基片为2mm，薄膜样品为600nm左右，我想观测薄膜的表面形貌，利用TEM，怎么制样？

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3楼2007-05-30 10:24:19
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lilykiddy

金虫 (小有名气)
谢谢，但是氢氟酸对薄膜有影响，应该还有其他的方法吧？！比如，我看到一篇文章（Published in Advanced Materials)，利用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况。
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4楼2007-05-30 16:23:01
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