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lilykiddy

金虫 (小有名气)

[交流] 玻璃基片上薄膜样品的TEM测试?

样品为玻璃基片上的薄膜,玻璃基片为2mm,薄膜样品为600nm左右,我想观测薄膜的表面形貌,利用TEM,怎么制样?
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robinsonguo

木虫 (著名写手)

薄膜太厚了,
可以做薄一点。

用玻璃刀划基片,井字形,
然后放到HF+H2O中腐蚀,
薄膜会脱落下来,
然后用铜网打捞,
这样就可以做TEM了。
引用回帖:
Originally posted by lilykiddy at 2007-5-30 09:07 AM:
样品为玻璃基片上的薄膜,玻璃基片为2mm,薄膜样品为600nm左右,我想观测薄膜的表面形貌,利用TEM,怎么制样?

3楼2007-05-30 10:24:19
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temedx

专家顾问 (著名写手)

看形貌为什么不用SEM?TEM适用观察里面的结构特征。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
2楼2007-05-30 09:56:19
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lilykiddy

金虫 (小有名气)

谢谢,但是氢氟酸对薄膜有影响,应该还有其他的方法吧?!比如,我看到一篇文章(Published in Advanced Materials),利用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况。
4楼2007-05-30 16:23:01
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hardstones

荣誉版主 (知名作家)

优秀超版优秀版主优秀区长

引用回帖:
Originally posted by lilykiddy at 2007-5-30 16:23:
谢谢,但是氢氟酸对薄膜有影响,应该还有其他的方法吧?!比如,我看到一篇文章(Published in Advanced Materials),利用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况。

玻璃加薄膜,太厚了,电子根本透不过,楼主想观测薄膜的表面形貌,为什么不用SEM?TEM是用来看形态的,你说的那篇用TEM观测薄膜中的Ag粒子情况,而不是看薄膜的表面形貌
心态最终决定你所处的高度
5楼2007-05-30 16:31:14
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