24小时热门版块排行榜

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hui0087

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 4012.6
散金: 84
红花: 2
帖子: 671
在线: 163.8小时
虫号: 519394
注册: 2008-03-06
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[求助] Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching 区别

文献中经常见到Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching，但是一直不是很清楚两者有什么区别？此外，还有就是我想做到把表面的薄膜刻蚀掉但是却不影响下层的薄膜，不知道该怎样操作？

回复此楼

» 猜你喜欢

请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？已经有1人回复
求助两种BiOBr晶体的CIF文件（卡片号为JCPDS 09-0393与JCPDS 01-1004 ）已经有0人回复
金属材料论文润色/翻译怎么收费? 已经有146人回复
哈尔滨工程大学材化学院国家级青年人才-26年硕士招生已经有0人回复
求助Fe-TCPP、Zn-TCPP的CIF文件，或者CCDC号已经有0人回复
河北大学-26年秋季入学申请考核制-化学博士1名已经有0人回复
XPS/?λXPS 已经有0人回复

1楼 2012-08-25 10:50:09

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

hui0087

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 4012.6
散金: 84
红花: 2
帖子: 671
在线: 163.8小时
虫号: 519394
注册: 2008-03-06
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

引用回帖:

2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-08-26 17:02:40
两者没有本质差别，只是应用场所或目的不大一样。
Milling常常用于表面清洗，通过离子束轰击打掉表面层的污物，当然没有污物时，样品表面层也会被打掉减薄。
Etching常常用于带有图案的表面加工，可以是离子束刻蚀 ...

用Milling减薄样品表面层时能不能保证不损伤表面层以下的薄膜？