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hui0087

木虫 (正式写手)

[求助] Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching 区别

文献中经常见到Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching,但是一直不是很清楚两者有什么区别?此外,还有就是我想做到把表面的薄膜刻蚀掉但是却不影响下层的薄膜,不知道该怎样操作?
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
hui0087: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-08-26 21:51:35
两者没有本质差别,只是应用场所或目的不大一样。
Milling常常用于表面清洗,通过离子束轰击打掉表面层的污物,当然没有污物时,样品表面层也会被打掉减薄。
Etching常常用于带有图案的表面加工,可以是离子束刻蚀,也可以通过掩模板方式进行。
Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-08-26 17:02:40
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hui0087

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-08-26 17:02:40
两者没有本质差别,只是应用场所或目的不大一样。
Milling常常用于表面清洗,通过离子束轰击打掉表面层的污物,当然没有污物时,样品表面层也会被打掉减薄。
Etching常常用于带有图案的表面加工,可以是离子束刻蚀 ...

用Milling减薄样品表面层时能不能保证不损伤表面层以下的薄膜?
3楼2012-08-26 21:53:29
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