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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching 区别
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hui0087

木虫 (正式写手)

[求助] Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching 区别

文献中经常见到Ar+ ion milling 和 Ar+ ion etching，但是一直不是很清楚两者有什么区别？此外，还有就是我想做到把表面的薄膜刻蚀掉但是却不影响下层的薄膜，不知道该怎样操作？
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1楼 2012-08-25 10:50:09
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Jackcd12

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
hui0087: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢 2012-08-26 21:51:35
两者没有本质差别，只是应用场所或目的不大一样。
Milling常常用于表面清洗，通过离子束轰击打掉表面层的污物，当然没有污物时，样品表面层也会被打掉减薄。
Etching常常用于带有图案的表面加工，可以是离子束刻蚀，也可以通过掩模板方式进行。
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Themoreamanlearns,themoreheknowshisignorance!
2楼2012-08-26 17:02:40
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hui0087

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jackcd12 at 2012-08-26 17:02:40
两者没有本质差别，只是应用场所或目的不大一样。
Milling常常用于表面清洗，通过离子束轰击打掉表面层的污物，当然没有污物时，样品表面层也会被打掉减薄。
Etching常常用于带有图案的表面加工，可以是离子束刻蚀 ...

用Milling减薄样品表面层时能不能保证不损伤表面层以下的薄膜？
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3楼2012-08-26 21:53:29
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