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nimitz7

金虫 (正式写手)

[求助] 如何准确测量PET膜上面ITO纳米层厚度?

目前知道除了SEM和TEM可以准确测量(但是制样困难),XRR和XRF也可以推算出厚度。貌似XRR对膜平整度要求比较高,fringe峰没有金属明显。

恳请有经验的虫友给详细解释一下,不胜感激。
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yanfang2741

禁虫 (文坛精英)

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6楼2018-09-16 12:41:08
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nimitz7

金虫 (正式写手)

忘了强调,ITO厚度在20到100纳米之间。。
2楼2012-08-23 23:49:12
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exciting1973

禁虫 (正式写手)

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3楼2012-10-04 22:34:33
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jiangpengju

新虫 (小有名气)

咱两做的工作应该是差不多,TEM制样可以用FIB,但是巨贵,所以最近我也在尝试用XRR解决,不知道您那边目前有没有可以分享的资源,比如分析软件及教程!
4楼2017-01-05 22:04:06
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