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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 如何准确测量PET膜上面ITO纳米层厚度？
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nimitz7

金虫 (正式写手)

[求助] 如何准确测量PET膜上面ITO纳米层厚度？

目前知道除了SEM和TEM可以准确测量（但是制样困难），XRR和XRF也可以推算出厚度。貌似XRR对膜平整度要求比较高，fringe峰没有金属明显。

恳请有经验的虫友给详细解释一下，不胜感激。
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1楼 2012-08-23 23:44:21
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exciting1973

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2012-10-04 22:34:33
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nimitz7

金虫 (正式写手)
忘了强调，ITO厚度在20到100纳米之间。。
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2楼2012-08-23 23:49:12
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jiangpengju

新虫 (小有名气)
咱两做的工作应该是差不多，TEM制样可以用FIB，但是巨贵，所以最近我也在尝试用XRR解决，不知道您那边目前有没有可以分享的资源，比如分析软件及教程！
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4楼2017-01-05 22:04:06
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Twilight0220

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jiangpengju at 2017-01-05 22:04:06
咱两做的工作应该是差不多，TEM制样可以用FIB，但是巨贵，所以最近我也在尝试用XRR解决，不知道您那边目前有没有可以分享的资源，比如分析软件及教程！

您好，想问一下您是否解决了这个问题？最近也在做相关方面的工作。如果方便，能否交流一下
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5楼2017-08-07 11:42:28
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