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石墨坩埚结构设计问题
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大家好。 求助大家一个问题：石墨坩埚一般都是平口的形状，就像普通水杯一样。现在我想设计成斜口的形状（具体哪种斜口方式最优？），不知道斜口时是否存在应力集中点，如果其余条件相同，不予考虑的话，其于平口相比，寿命问题如何呢？ 先谢谢大家了。 |
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wmy_candymm
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【答案】应助回帖
liuqh: 应助指数+1, 谢谢热心应助 2012-08-31 10:16:19
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石墨坩埚现在的生产加工工艺已经很成熟了，可以加工成你需要的任何形状，这方面你不用担心，并且石墨坩埚是压合成型的对于高纯石墨来说机械加工性能很好，不用担心此类问题，我们做线性蒸发源的，坩埚形状很复杂，制作都没有问题。真正需要考虑的问题是石墨坩埚有一定的渗透性，需要加表面涂层，如果你的蒸发材料是液态蒸发的，需要考虑该问题，但如果你的材料是固态升华的应该问题不大。涂层分为氮化硼，碳化硅，以及热解碳几种，国内可能做不了，一般都发往德国去做，这样的制作成本会很高。如果是常规的坩埚能够满足的不如直接从厂家买省钱，Kurt J Lesker或者Nor-Cal都有卖的。 坩埚的设计主要和蒸发材料以及蒸发均匀性等相关，请参考，谢谢！ |
3楼2012-08-30 12:42:30
4楼2012-08-31 09:23:26
