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石墨坩埚结构设计问题
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大家好。 求助大家一个问题:石墨坩埚一般都是平口的形状,就像普通水杯一样。现在我想设计成斜口的形状(具体哪种斜口方式最优?),不知道斜口时是否存在应力集中点,如果其余条件相同,不予考虑的话,其于平口相比,寿命问题如何呢? 先谢谢大家了。 |
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2楼2012-08-29 15:00:22
wmy_candymm
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【答案】应助回帖
liuqh: 应助指数+1, 谢谢热心应助 2012-08-31 10:16:19
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石墨坩埚现在的生产加工工艺已经很成熟了,可以加工成你需要的任何形状,这方面你不用担心,并且石墨坩埚是压合成型的对于高纯石墨来说机械加工性能很好,不用担心此类问题,我们做线性蒸发源的,坩埚形状很复杂,制作都没有问题。真正需要考虑的问题是石墨坩埚有一定的渗透性,需要加表面涂层,如果你的蒸发材料是液态蒸发的,需要考虑该问题,但如果你的材料是固态升华的应该问题不大。涂层分为氮化硼,碳化硅,以及热解碳几种,国内可能做不了,一般都发往德国去做,这样的制作成本会很高。如果是常规的坩埚能够满足的不如直接从厂家买省钱,Kurt J Lesker或者Nor-Cal都有卖的。 坩埚的设计主要和蒸发材料以及蒸发均匀性等相关,请参考,谢谢! |

3楼2012-08-30 12:42:30

4楼2012-08-31 09:23:26
wmy_candymm
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5楼2012-08-31 15:44:53

6楼2012-09-01 09:38:31
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7楼2012-09-03 12:00:15

8楼2012-09-04 17:15:37
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9楼2012-09-05 10:10:20

10楼2012-09-05 11:13:58














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