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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

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[交流] 聚合物薄膜的红外测试已有4人参与

用匀胶机在硅片上旋涂得到的有机薄膜。拿去红外测试居然和空白硅片谱图差不多。不知道什么原因。
我的是40nm，不知道是不是太薄了。一般测红外有机薄膜得厚度要多少。有谁知道。

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ljiangkaoyan

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1楼 2012-08-17 20:48:35

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pifuwei

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by sbffgef298 at 2012-08-21 20:54:40
ATR的测试深度在0.25微米到2.5微米。你的薄膜只有40纳米，底下的硅片也被红外测试了，而且占大部分。所以你的图和空白图差不多。...

ATR的测试深度 dependents on the edge angle, IR wavelength and reflectance. For the pathlength, you should think about the reflection times of IR beam in ATR plate. So, 40nm is ok for multiple ATR. But, you have to keep the wonderful contaction between your sample and ATR plate.

You can directly coat your film on ATR plate next time. Or, you can use IRRAS.