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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

[交流] 聚合物薄膜 的红外测试 已有4人参与

用匀胶机在硅片上旋涂得到的有机薄膜。拿去红外测试居然和空白硅片谱图差不多。不知道什么原因。
我的是40nm,不知道是不是太薄了。一般测红外有机薄膜得 厚度 要多少。有谁知道。
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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

送鲜花一朵
自己顶一顶。没有虫友现身相助?
2楼2012-08-17 20:56:49
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netscaner

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有没先做空白扣除呀!薄了你扫描次数多几次,要不你再制厚的样试试嘛。你测测保鲜膜有多厚,我测它的红外都是直接测的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
天道酬勤!
3楼2012-08-17 22:27:01
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sbffgef298

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
soundhorizo: 金币+2, 专家辛苦 鼓励交流 ^^ 2012-08-21 21:52:36
40nm是太薄了。另外,请问你是做的透过还是ATR?你的硅片多厚?
4楼2012-08-19 20:44:53
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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by sbffgef298 at 2012-08-19 20:44:53
40nm是太薄了。另外,请问你是做的透过还是ATR?你的硅片多厚?

ATR可以测了。40nm也够了,硅片做透过好像不行
5楼2012-08-20 22:20:31
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sbffgef298

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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5楼: Originally posted by ljiangkaoyan at 2012-08-20 22:20:31
ATR可以测了。40nm也够了,硅片做透过好像不行...

ATR的测试深度在0.25微米到2.5微米。你的薄膜只有40纳米,底下的硅片也被红外测试了,而且占大部分。所以你的图和空白图差不多。
6楼2012-08-21 20:54:40
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pifuwei

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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6楼: Originally posted by sbffgef298 at 2012-08-21 20:54:40
ATR的测试深度在0.25微米到2.5微米。你的薄膜只有40纳米,底下的硅片也被红外测试了,而且占大部分。所以你的图和空白图差不多。...

ATR的测试深度 dependents on the edge angle, IR wavelength and reflectance. For the pathlength, you should think about the reflection times of IR beam in ATR plate. So, 40nm is ok for multiple ATR. But, you have to keep the wonderful contaction between your sample and ATR plate.  

You can directly coat your film on ATR plate next time.  Or, you can use IRRAS.
7楼2012-08-22 17:16:33
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sbffgef298

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by pifuwei at 2012-08-22 17:16:33
ATR的测试深度 dependents on the edge angle, IR wavelength and reflectance. For the pathlength, you should think about the reflection times of IR beam in ATR plate. So, 40nm is ok for multiple ATR. B ...

我个人觉得,楼主这个样品,单点ATR做不出,多点ATR也一样做不出。这不是薄膜太薄信号弱的原因。关键是薄膜下面的硅片起了干扰作用。所以就算是多点采样,同样不能避免硅片的干扰。
8楼2012-08-22 19:40:23
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pifuwei

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by sbffgef298 at 2012-08-22 19:40:23
我个人觉得,楼主这个样品,单点ATR做不出,多点ATR也一样做不出。这不是薄膜太薄信号弱的原因。关键是薄膜下面的硅片起了干扰作用。所以就算是多点采样,同样不能避免硅片的干扰。...

Pure Si should has no absorption in IR region, but SiO2 should has effect for his/her sample.  Suggest him/her to measure the background with Si. Then coating the film and measure the sample.
9楼2012-08-23 16:48:22
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sbffgef298

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
9楼: Originally posted by pifuwei at 2012-08-23 16:48:22
Pure Si should has no absorption in IR region, but SiO2 should has effect for his/her sample.  Suggest him/her to measure the background with Si. Then coating the film and measure the sample....

原则上来说,SI确实没有红外吸收。但是,用硅片做ATR,确实有红外谱图出来。你自己做一个就知道了。
10楼2012-08-23 23:11:04
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