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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

[交流] 聚合物薄膜 的红外测试 已有4人参与

用匀胶机在硅片上旋涂得到的有机薄膜。拿去红外测试居然和空白硅片谱图差不多。不知道什么原因。
我的是40nm,不知道是不是太薄了。一般测红外有机薄膜得 厚度 要多少。有谁知道。
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sbffgef298

金虫 (小有名气)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
soundhorizo: 金币+2, 专家辛苦 鼓励交流 ^^ 2012-08-21 21:52:36
40nm是太薄了。另外,请问你是做的透过还是ATR?你的硅片多厚?
4楼2012-08-19 20:44:53
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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

送鲜花一朵
自己顶一顶。没有虫友现身相助?
2楼2012-08-17 20:56:49
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netscaner

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
有没先做空白扣除呀!薄了你扫描次数多几次,要不你再制厚的样试试嘛。你测测保鲜膜有多厚,我测它的红外都是直接测的。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
天道酬勤!
3楼2012-08-17 22:27:01
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ljiangkaoyan

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by sbffgef298 at 2012-08-19 20:44:53
40nm是太薄了。另外,请问你是做的透过还是ATR?你的硅片多厚?

ATR可以测了。40nm也够了,硅片做透过好像不行
5楼2012-08-20 22:20:31
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