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溅射镀AL辉光发蓝 已有2人参与
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磁控溅射镀AL，矩形平面铝靶，Ar气，1pa左右 镀膜时未通水，导致磁场减弱厉害，至少弱一半， 通水后再镀，辉光发蓝，功率越高，越蓝 请问什么原因？ |
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6楼2012-08-02 16:03:19
蒋青松
荣誉版主 (著名写手)
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- 管辖: 功能材料
2楼2012-08-02 07:36:31
3楼2012-08-02 11:18:46
zhaohaixing
荣誉版主 (著名写手)
心静、静心
-
专家经验: +6 - FPI: 3
- 应助: 14 (小学生)
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- 红花: 13
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- 虫号: 979078
- 注册: 2010-03-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
4楼2012-08-02 11:42:59
