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溅射镀AL辉光发蓝已有2人参与
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磁控溅射镀AL，矩形平面铝靶，Ar气，1pa左右 镀膜时未通水，导致磁场减弱厉害，至少弱一半， 通水后再镀，辉光发蓝，功率越高，越蓝 请问什么原因？ |
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蒋青松
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- 性别: GG
- 专业: 光子与光电子器件
- 管辖: 功能材料
2楼2012-08-02 07:36:31