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溅射镀AL辉光发蓝 已有2人参与
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磁控溅射镀AL,矩形平面铝靶,Ar气,1pa左右 镀膜时未通水,导致磁场减弱厉害,至少弱一半, 通水后再镀,辉光发蓝,功率越高,越蓝 请问什么原因? |
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zhaohaixing
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4楼2012-08-02 11:42:59
蒋青松
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