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[求助]
关于ICP刻蚀的问题，还望不吝指教额～～～
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1、刻蚀线宽损失问题 6um的宽度，刻蚀后只有5.7um，这个损失有点大啊 2、刻蚀侧壁粗糙度的控制 |
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