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之戈

铜虫 (小有名气)

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专业: 光子与光电子器件

[求助] 关于ICP刻蚀的问题，还望不吝指教额～～～

1、刻蚀线宽损失问题
6um的宽度，刻蚀后只有5.7um，这个损失有点大啊
2、刻蚀侧壁粗糙度的控制

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1楼 2012-07-26 21:17:55

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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我们都爱小木虫

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