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PVD(物理气相沉积)中沉积速率问题
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看到一篇文献，写到 “时间步长设为1 fs，两个沉积原子之间的沉积间隔为5 ps，相当于沉积速率为0.39 ML/ns，共沉积12ML Ti原子。” 请高人指点这里的单位“ML”的具体含义。 [ Last edited by 无不思想 on 2012-7-13 at 10:08 ] |
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