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求助『基于溶胶凝胶法 ，用TEOS的溶胶，旋涂法制备氧化硅薄膜的方法』
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因实验需要，要用TEOS制备1um厚度以上的氧化硅膜（最好是spin-coat 可以控制膜厚） 自己按照一个专利的比例，做了一次，厚度才不到200nm，加热之后 还龟裂了。 又找了好几篇文献，要么是 没有所说的 表面活性剂 要么就是 设备不够。 现在没找到 能实现 无龟裂 1um以上的成膜方法 求助，各位虫友，不管是 文献推荐，或者 配比 实验流程的经验分享 都 非常感谢～ |
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