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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 求助『基于溶胶凝胶法 ，用TEOS的溶胶，旋涂法制备氧化硅薄膜的方法』
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organicsolar

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助『基于溶胶凝胶法 ，用TEOS的溶胶，旋涂法制备氧化硅薄膜的方法』

因实验需要，要用TEOS制备1um厚度以上的氧化硅膜（最好是spin-coat 可以控制膜厚）
自己按照一个专利的比例，做了一次，厚度才不到200nm，加热之后 还龟裂了。

又找了好几篇文献，要么是  没有所说的 表面活性剂  要么就是  设备不够。
现在没找到   能实现  无龟裂 1um以上的成膜方法

求助，各位虫友，不管是  文献推荐，或者  配比 实验流程的经验分享 都   非常感谢～
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1楼 2012-07-12 14:28:57
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