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氧化锌掺硼pld制备后测量xrd没有薄膜的峰
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大家有没有做过氧化锌掺杂硼元素的pld薄膜制备？衬底是蓝宝石，做了六个样品结果都没有薄膜的xrd衍射峰。 靶材条件：氧化锌掺杂三氧化二鹏10%研磨后在900度空气中烧结30min（参考文献），压片后900度烧了10min（自己主张） 制备条件：200mJ 5Hz 20min 距离4cm 真空度2×10^-4pa，一个不通氧，一个氧气1.5pa xrd测试：氧化锌摇摆曲线34.37 ，氧化铝衬底41.68， 全谱20-80 结果：没有摇摆曲线，全谱只有氧化铝衬底的峰，放大后能看到氧化锌很微弱的特征峰。 大家帮我分析一下问题出在哪儿了呀？ |
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