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imlqlq

新虫 (初入文坛)

[求助] 氧化锌掺硼pld制备后测量xrd没有薄膜的峰

大家有没有做过氧化锌掺杂硼元素的pld薄膜制备？衬底是蓝宝石，做了六个样品结果都没有薄膜的xrd衍射峰。
靶材条件：氧化锌掺杂三氧化二鹏10%研磨后在900度空气中烧结30min（参考文献），压片后900度烧了10min（自己主张）
制备条件：200mJ 5Hz 20min 距离4cm 真空度2×10^-4pa，一个不通氧，一个氧气1.5pa
xrd测试：氧化锌摇摆曲线34.37 ，氧化铝衬底41.68， 全谱20-80
结果：没有摇摆曲线，全谱只有氧化铝衬底的峰，放大后能看到氧化锌很微弱的特征峰。
大家帮我分析一下问题出在哪儿了呀？
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1楼 2012-07-10 20:34:30
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liu2004m

荣誉版主 (文坛精英)

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【答案】应助回帖

是不是膜太薄了
或者结晶度不太好
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2楼2012-07-11 12:49:17
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