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liyuandong1

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[求助] 求问AZO薄膜电阻率问题

1. 由于学校四探针检测过程较漫长，因此希望能在实验室粗略的测量一下AZO的导电性能是否良好。
求问，导电率良好的AZO薄膜，如果用万用表测电阻，2个电极相隔1cm左右，显示应该为多少欧姆为佳。
2. 另外，采用直流非反应溅射，一些样品XRD检测出来在31°左右有ZnAl2O4（铝酸锌）峰，不知道大家有遇到这种情况吗，是靶材的问题吗？

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世人笑我太疯癫，我笑世人看不穿

1楼 2012-06-19 22:29:44

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floljf

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引用回帖:

6楼: Originally posted by lokichu at 2012-08-17 18:02:42
Al在ZnO中的固溶度比较小，当Al含量高于固溶度后，溅射时在薄膜晶粒的晶界会析出铝酸锌。如楼上所说的，很有可能的原因靶材成分均匀性不好，导致局部Al含量过大。也有可能是靶材本身氧化铝含量高了。
而铝酸锌本身 ...

你所说的含量大概是多少会出现成份偏析的问题呢？

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8楼2012-11-29 10:17:32

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xwzg

新虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liyuandong1: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-06-20 09:04:15
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:27

第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看你薄膜的厚度。

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2楼2012-06-20 08:47:44

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liyuandong1

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2楼: Originally posted by xwzg at 2012-06-20 08:47:44
第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看你薄膜的厚度。

谢谢，膜厚估计在500nm左右

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世人笑我太疯癫，我笑世人看不穿

3楼2012-06-20 09:03:45

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xwzg

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【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:41

500纳米的话，那两电极电阻应该是比较小的，估计在50欧姆左右，看薄膜质量了。

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4楼2012-06-20 10:49:17

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