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liyuandong1

铜虫 (小有名气)

[求助] 求问AZO薄膜电阻率问题

1. 由于学校四探针检测过程较漫长,因此希望能在实验室粗略的测量一下AZO的导电性能是否良好。
求问,导电率良好的AZO薄膜,如果用万用表测电阻,2个电极相隔1cm左右,显示应该为多少欧姆为佳。
2. 另外,采用直流非反应溅射,一些样品XRD检测出来在31°左右有ZnAl2O4(铝酸锌)峰,不知道大家有遇到这种情况吗,是靶材的问题吗?
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世人笑我太疯癫,我笑世人看不穿
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xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:41
500纳米的话,那两电极电阻应该是比较小的,估计在50欧姆左右,看薄膜质量了。
4楼2012-06-20 10:49:17
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xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liyuandong1: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-06-20 09:04:15
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:27
第一个问题:AZO是导电薄膜,类似与ITO,因此,好一点的AZO,两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右,那么四探针测试的话,方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。
2楼2012-06-20 08:47:44
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liyuandong1

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xwzg at 2012-06-20 08:47:44
第一个问题:AZO是导电薄膜,类似与ITO,因此,好一点的AZO,两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右,那么四探针测试的话,方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。

谢谢,膜厚估计在500nm左右
世人笑我太疯癫,我笑世人看不穿
3楼2012-06-20 09:03:45
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ligs86

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:47
第二问题,可能是你的氧化铝分散不好或者氧化铝添加量稍高了
5楼2012-06-20 11:40:52
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