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liyuandong1铜虫 (小有名气)
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[求助]
求问AZO薄膜电阻率问题
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1. 由于学校四探针检测过程较漫长，因此希望能在实验室粗略的测量一下AZO的导电性能是否良好。 求问，导电率良好的AZO薄膜，如果用万用表测电阻，2个电极相隔1cm左右，显示应该为多少欧姆为佳。 2. 另外，采用直流非反应溅射，一些样品XRD检测出来在31°左右有ZnAl2O4（铝酸锌）峰，不知道大家有遇到这种情况吗，是靶材的问题吗？ |
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