应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求问AZO薄膜电阻率问题
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 2823  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liyuandong1

铜虫 (小有名气)

[求助] 求问AZO薄膜电阻率问题

1. 由于学校四探针检测过程较漫长，因此希望能在实验室粗略的测量一下AZO的导电性能是否良好。
求问，导电率良好的AZO薄膜，如果用万用表测电阻，2个电极相隔1cm左右，显示应该为多少欧姆为佳。
2. 另外，采用直流非反应溅射，一些样品XRD检测出来在31°左右有ZnAl2O4（铝酸锌）峰，不知道大家有遇到这种情况吗，是靶材的问题吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

镀膜与膜层或涂层检测 TCO films

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
世人笑我太疯癫，我笑世人看不穿
1楼 2012-06-19 22:29:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lokichu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
chemlh: 金币+1, 欢迎新虫积极交流 2012-12-06 08:05:02
Al在ZnO中的固溶度比较小，当Al含量高于固溶度后，溅射时在薄膜晶粒的晶界会析出铝酸锌。如楼上所说的，很有可能的原因靶材成分均匀性不好，导致局部Al含量过大。也有可能是靶材本身氧化铝含量高了。
而铝酸锌本身电阻率很高，会导致薄膜电阻率的上升，应避免出现铝酸锌。
赞一下 回复此楼
6楼2012-08-17 18:02:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liyuandong1: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-06-20 09:04:15
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:27
第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。
赞一下 回复此楼
2楼2012-06-20 08:47:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liyuandong1

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xwzg at 2012-06-20 08:47:44
第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。

谢谢，膜厚估计在500nm左右
赞一下 回复此楼
世人笑我太疯癫，我笑世人看不穿
3楼2012-06-20 09:03:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:41
500纳米的话，那两电极电阻应该是比较小的，估计在50欧姆左右，看薄膜质量了。
赞一下 回复此楼
4楼2012-06-20 10:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 299求调剂 +9 15188958825 2026-03-25 9/450 2026-03-29 14:16 by wxiongid
[考研] 求调剂一志愿武汉理工大学材料工程（085601） +7 WW.' 2026-03-23 9/450 2026-03-29 12:42 by fmesaito
[考研] 298求调剂 +3 种圣赐 2026-03-29 3/150 2026-03-29 12:06 by longlotian
[考研] 348求调剂 +5 小懒虫不懒了 2026-03-28 5/250 2026-03-29 10:34 by 唐沐儿
[考研] 330分求调剂 +5 qzenlc 2026-03-29 5/250 2026-03-29 07:37 by 无际的草原
[考研] 0703化学 +11 妮妮ninicgb 2026-03-27 11/550 2026-03-29 06:45 by 544594351
[考研] 321求调剂 +7 璞玉~~ 2026-03-25 8/400 2026-03-29 06:41 by 544594351
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-27 6/300 2026-03-28 14:10 by 唐沐儿
[考研] 085602 307分 求调剂 +7 不知道叫什么！ 2026-03-26 7/350 2026-03-28 09:57 by 神马都不懂
[考研] 081200-314 +3 LILIQQ 2026-03-27 4/200 2026-03-28 09:41 by 保护地球你我做�
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-27 7/350 2026-03-28 07:43 by 热情沙漠
[考研] 275求调剂 +10 jjjjjjjjjjl 2026-03-27 10/500 2026-03-27 23:47 by barnett0632
[考研] 化学调剂 +4 爱吃番茄的旭 2026-03-24 5/250 2026-03-27 17:50 by kiokin
[考研] 287求调剂 +10 land xuxu 2026-03-26 10/500 2026-03-27 15:33 by 帕尔马拉特
[考研] 279 分 求调剂 +4 睡个好觉_16 2026-03-24 4/200 2026-03-27 15:05 by 醉在风里
[考研] 考研化学308分求调剂 +10 你好明天你好 2026-03-23 12/600 2026-03-27 14:43 by shangxh
[考研] 359求调剂 +4 王了个楠 2026-03-25 4/200 2026-03-27 08:43 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿武理085500机械专业总分300求调剂 +3 an10101 2026-03-24 7/350 2026-03-25 00:00 by 山鬼0-
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 292求调剂 +4 鹅鹅鹅额额额额� 2026-03-24 4/200 2026-03-24 16:41 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭