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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 求问AZO薄膜电阻率问题
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liyuandong1

铜虫 (小有名气)

[求助] 求问AZO薄膜电阻率问题

1. 由于学校四探针检测过程较漫长，因此希望能在实验室粗略的测量一下AZO的导电性能是否良好。
求问，导电率良好的AZO薄膜，如果用万用表测电阻，2个电极相隔1cm左右，显示应该为多少欧姆为佳。
2. 另外，采用直流非反应溅射，一些样品XRD检测出来在31°左右有ZnAl2O4（铝酸锌）峰，不知道大家有遇到这种情况吗，是靶材的问题吗？
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1楼 2012-06-19 22:29:44
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lokichu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
chemlh: 金币+1, 欢迎新虫积极交流 2012-12-06 08:05:02
Al在ZnO中的固溶度比较小，当Al含量高于固溶度后，溅射时在薄膜晶粒的晶界会析出铝酸锌。如楼上所说的，很有可能的原因靶材成分均匀性不好，导致局部Al含量过大。也有可能是靶材本身氧化铝含量高了。
而铝酸锌本身电阻率很高，会导致薄膜电阻率的上升，应避免出现铝酸锌。
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6楼2012-08-17 18:02:42
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xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liyuandong1: 金币+10, ★★★很有帮助 2012-06-20 09:04:15
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:27
第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。
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2楼2012-06-20 08:47:44
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liyuandong1

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xwzg at 2012-06-20 08:47:44
第一个问题：AZO是导电薄膜，类似与ITO，因此，好一点的AZO，两电极电阻应该在10-50欧姆之间。如果你的AZO电阻在500欧姆左右，那么四探针测试的话，方阻会比较高。这个具体要看 你薄膜的厚度。

谢谢，膜厚估计在500nm左右
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世人笑我太疯癫，我笑世人看不穿
3楼2012-06-20 09:03:45
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xwzg

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-06-21 07:31:41
500纳米的话，那两电极电阻应该是比较小的，估计在50欧姆左右，看薄膜质量了。
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4楼2012-06-20 10:49:17
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