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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 缓冲氢氟酸溶液怎么配制
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polaris953

金虫 (小有名气)

[求助] 缓冲氢氟酸溶液怎么配制

用来清洗Si片，后续做氧化工艺，清洗过程中的缓冲氢氟酸溶液（BOE）一般配置的比例是多少？
缓冲HF溶液和稀释的HF溶液在清洗效果上有什么差别吗？

请大家指教啊
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1楼 2012-06-18 15:14:00
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raindroper

金虫 (初入文坛)

小虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
polaris953: 金币+3, ★有帮助 2012-06-19 17:48:57
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-06-22 14:27:09
氢氟酸【浓度49%】：氟化氨【浓度40%】=1：5

用氟化铵来缓冲HF可使得腐蚀能被很好的控制，这种腐蚀液减慢并稳定腐蚀过程
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不忘初心
2楼2012-06-19 10:53:39
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-06-22 14:27:13
polaris953: 金币+3, ★★★很有帮助, 多谢应助 2012-08-05 18:02:17
硅片清洗进furnace，DHF 一般是用1：50 HF49%:H2O;BOE(BHF) 和DHF的区别见楼上回答。
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3楼2012-06-22 13:54:53
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