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polaris953金虫 (小有名气)
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缓冲氢氟酸溶液怎么配制
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用来清洗Si片，后续做氧化工艺，清洗过程中的缓冲氢氟酸溶液（BOE）一般配置的比例是多少？ 缓冲HF溶液和稀释的HF溶液在清洗效果上有什么差别吗？ 请大家指教啊 |
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