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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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polaris953

金虫 (小有名气)

[求助] 缓冲氢氟酸溶液怎么配制

用来清洗Si片,后续做氧化工艺,清洗过程中的缓冲氢氟酸溶液(BOE)一般配置的比例是多少?
缓冲HF溶液和稀释的HF溶液在清洗效果上有什么差别吗?

请大家指教啊
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raindroper

金虫 (初入文坛)

小虫

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
polaris953: 金币+3, 有帮助 2012-06-19 17:48:57
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-06-22 14:27:09
氢氟酸【浓度49%】:氟化氨【浓度40%】=1:5

用氟化铵来缓冲HF可使得腐蚀能被很好的控制,这种腐蚀液减慢并稳定腐蚀过程
不忘初心
2楼2012-06-19 10:53:39
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
lchpy: 金币+1, thanks for your information~ 2012-06-22 14:27:13
polaris953: 金币+3, ★★★很有帮助, 多谢应助 2012-08-05 18:02:17
硅片清洗进furnace,DHF 一般是用1:50 HF49%:H2O;BOE(BHF) 和DHF的区别见楼上回答。
3楼2012-06-22 13:54:53
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