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请问浇铸并固化后,硅衬底上残余的PDMS怎么去掉?
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
[
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]
请问浇铸并固化后,硅衬底上残余的PDMS怎么去掉?
如题,我用二甲苯煮沸半小时,发现去不掉,感谢大侠。
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1楼
2012-06-13 20:17:55
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tianxiaochun
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2012-06-15 18:07:06
用DMF浸泡 试一试吧
不行就顺便加加热~~~~
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我很个性,无需签名!
2楼
2012-06-13 20:33:20
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2012-06-15 18:07:18
硅片应做疏水,不然肯定会嵌在里面,用有机溶胀剂试试吧
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3楼
2012-06-14 13:26:11
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