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大家好，问一个关于PMMA溶解的问题。已有2人参与
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我要在硅片表面做PMMA溶液的图案化。。 现在PMMA溶液的制备出现了点问题。。 我用的PMMA是996K的。。 在冬天的时候 做这个实验不会有任何问题。。 但是夏天到了，这个实验就从来没重复出来过。 PMMA溶液总有小颗粒和絮状物在里面，我不知道是出了什么问题，想的办法都想过了。。 溶剂也换过，氯苯，二氯苯、三氯苯，氯仿，甲苯都试过 ，都是不成 。 实验室开了除湿机，配溶液的瓶子也都用烘箱烘过，甚至PMMA的固体也在真空里加热处理过，应该不会存在水汽了杂质了。。 不知道为何还是溶解不了，还请大家交流一下。 我是用加热搅拌的方式制备溶液的，。 需要指出的是，同样的PMMA，没有更换过，在冬天可以，甚至4月份还可以，就是从5月中旬到6月份，就没重复出来了。。 很是奇怪。。而且各种分子量的PMMA都试过了，120k 350k 540k 都试过了，也不行。溶液里很多小颗粒。 相反，PS 140k的就可以进行图案化。。 大伙帮帮我吧。。 |
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