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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 高分子 » 功能高分子 » 大家好，问一个关于PMMA溶解的问题。
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dizzy1011

新虫 (初入文坛)

[求助] 大家好，问一个关于PMMA溶解的问题。 已有2人参与

我要在硅片表面做PMMA溶液的图案化。。

现在PMMA溶液的制备出现了点问题。。

我用的PMMA是996K的。。

在冬天的时候 做这个实验不会有任何问题。。

但是夏天到了，这个实验就从来没重复出来过。

PMMA溶液总有小颗粒和絮状物在里面，我不知道是出了什么问题，想的办法都想过了。。

溶剂也换过，氯苯，二氯苯、三氯苯，氯仿，甲苯都试过 ，都是不成 。

实验室开了除湿机，配溶液的瓶子也都用烘箱烘过，甚至PMMA的固体也在真空里加热处理过，应该不会存在水汽了杂质了。。

不知道为何还是溶解不了，还请大家交流一下。

我是用加热搅拌的方式制备溶液的，。

需要指出的是，同样的PMMA，没有更换过，在冬天可以，甚至4月份还可以，就是从5月中旬到6月份，就没重复出来了。。

很是奇怪。。而且各种分子量的PMMA都试过了，120k 350k 540k 都试过了，也不行。溶液里很多小颗粒。

相反，PS 140k的就可以进行图案化。。

大伙帮帮我吧。。
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1楼 2012-06-12 14:02:56
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
以前溶解PMMA
主要用到的溶剂是单独用乙二醇丁醚或二甲苯，或按1:9至3:7的比例。
较少用氯苯这么毒的溶剂。
如果要挥发快点，就换成乙醇。
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
11楼2012-06-14 10:50:41
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
zznjut: 金币+1, 欢迎交流 2012-06-13 14:13:42
天，你这是写诗呢？有时换行又是行间距这么大的。。。
会不会是分子量太大了，浓度多少呢？
和温度还有关系，温度比较关键。。。
1、可以先别搅拌，先溶胀一段时间再搅拌。。。
2、可以配稀点的浓度。。。
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3楼2012-06-12 15:38:53
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ycj9592

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
啊呀，我对这个没有经验啊，请同行来解吧
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4楼2012-06-12 16:54:40
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dizzy1011

新虫 (初入文坛)
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3?: Originally posted by vmuch520 at 2012-06-12 15:38:53
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5楼2012-06-13 13:34:42
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