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求助建议的合成10-20nm左右金属或者金属氧化物的方法。
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y13560407813
新虫
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[
求助
]
求助建议的合成10-20nm左右金属或者金属氧化物的方法。
如题,我先要制备一些10-20nm大小的金属(比如Cu, Ag)或者氧化物在Si片或者镀金的Si片上做一些实验。有谁能提供一些现成的,比较简易的方法(比如Electro-deposition, electroless deposition). 谢谢大家了。
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1楼
2012-06-09 06:13:52
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super_zu
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
atomic layer depositionn, electron beam evaporation, chemical vapor deposition, molecular beam epitaxy, sputtering, spin coating, sol gel
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5楼
2012-06-13 00:24:12
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wuyonglong86
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
可以使用等离子气相沉积法,直流电弧等离子或者微波等离子都可以
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行万里路不如专家指路
3楼
2012-06-10 22:21:22
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y13560407813
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专业: 质谱分析
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3楼
:
Originally posted by
wuyonglong86
at 2012-06-10 22:21:22
可以使用等离子气相沉积法,直流电弧等离子或者微波等离子都可以
谢谢!
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4楼
2012-06-12 23:42:12
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YUE-jf
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6楼
2012-06-15 17:01:56
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