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afiafi

银虫 (初入文坛)

[求助] 请教:有关Si掺杂浓度深度剖析

想要测试Si电池窗口层(N型)的深度剖析的掺杂浓度,测试深度约1微米,最好步长在5 nm以下,请教各位大侠有没有了解相关的测试方法,望不吝赐教!
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afiafi

银虫 (初入文坛)

nofrunolif: , 你这是自问自答? 2012-06-01 15:19:17
貌似二次离子质谱(SIMS)或者ICP-MS可以。。。
2楼2012-05-31 21:52:13
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