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悬臂厚度测量
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求助： 我有一个薄膜是通过腐蚀硅片制作的，大约有20um厚，没有衬底是悬空的，请问用什么仪器可以测量它的厚度？样品不光滑，不希望破坏样品。 |
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2楼2012-05-31 12:32:14
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rensu
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