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taowlh

新虫 (初入文坛)

[求助] 悬臂厚度测量

求助:
       我有一个薄膜是通过腐蚀硅片制作的,大约有20um厚,没有衬底是悬空的,请问用什么仪器可以测量它的厚度?样品不光滑,不希望破坏样品。
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haerbin06

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

透明不,,,可以想办法蒸读一层不透明的,这样可以用激光的方法来测量,,,
我很好
3楼2012-05-31 20:14:44
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rensu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

两种方法可供选择:
1. Spectroscopic Reflectometry 光谱反射法。这个可以用UV-vis 来测,比较容易。
2. Spectroscopic Ellipsometry 椭圆偏振光法。 这个需要椭圆偏振光仪,没用过。
4楼2012-06-01 05:59:41
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