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LaCoO3靶材水解
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bytianping
金虫
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虫号: 527634
[交流]
LaCoO3靶材水解
最近烧了个LaCoO3靶材,用于PLD的。1200度保温10小时,相对密度55%。XRD结果确实是LaCoO3的组分,但放了2天后靶材变成了粉末,测了XRD没有变化。我估计是水解了吧,不知道哪位大侠遇到过类似的情况啊?难道我得真空保存?
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1楼
2012-05-28 10:33:11
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juloong
木虫
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3楼
:
Originally posted by
bytianping
at 2012-05-28 18:16:52
是嘛,那怎么解决的呢?...
当时老板说"不浪费时间了,买个单晶靶吧",我就没再折腾
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4楼
2012-05-29 08:41:40
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juloong
木虫
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★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
bytianping: 金币+1
2012-05-28 18:16:28
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流
2012-05-29 07:33:21
我也遇到过,当时烧的是LaAlO3靶子
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2楼
2012-05-28 13:12:02
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bytianping
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引用回帖:
2楼
:
Originally posted by
juloong
at 2012-05-28 14:12:02
我也遇到过,当时烧的是LaAlO3靶子
是嘛,那怎么解决的呢?
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3楼
2012-05-28 18:16:52
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dearhanzi
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★ ★ ★ ★
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bytianping: 金币+3, 很有用,谢谢!
2012-05-29 17:45:03
应该不是水解阿,而是密度低导致你受热的时候应力不能及时释放,最后慢慢的应力在靶材内部释放出来,就碎了
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5楼
2012-05-29 14:07:18
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