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bytianping

金虫 (正式写手)


[交流] LaCoO3靶材水解

最近烧了个LaCoO3靶材,用于PLD的。1200度保温10小时,相对密度55%。XRD结果确实是LaCoO3的组分,但放了2天后靶材变成了粉末,测了XRD没有变化。我估计是水解了吧,不知道哪位大侠遇到过类似的情况啊?难道我得真空保存?
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juloong

木虫 (职业作家)


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bytianping: 金币+1 2012-05-28 18:16:28
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-29 07:33:21
我也遇到过,当时烧的是LaAlO3靶子
2楼2012-05-28 13:12:02
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bytianping

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by juloong at 2012-05-28 14:12:02
我也遇到过,当时烧的是LaAlO3靶子

是嘛,那怎么解决的呢?
3楼2012-05-28 18:16:52
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juloong

木虫 (职业作家)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by bytianping at 2012-05-28 18:16:52
是嘛,那怎么解决的呢?...

当时老板说"不浪费时间了,买个单晶靶吧",我就没再折腾
4楼2012-05-29 08:41:40
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dearhanzi

金虫 (小有名气)


★ ★ ★ ★
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bytianping: 金币+3, 很有用,谢谢! 2012-05-29 17:45:03
应该不是水解阿,而是密度低导致你受热的时候应力不能及时释放,最后慢慢的应力在靶材内部释放出来,就碎了
5楼2012-05-29 14:07:18
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
还是您制备工艺存在问题,压制工艺很重要,压实密度要高,烧结时气氛也要控制下,这样才能可以制备出还是的靶材。如果您不愿意自己做,北京瑞发致远公司子在做这类靶材,可以考虑下。
6楼2012-08-28 19:37:59
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bytianping: 金币+3, 谢谢!确实是因为质量差,重新烧了个90%的挺好的。 2012-08-30 10:11:19
相对密度55%?
应该很松脆吧
所以
可能不是水解
只是样品烧结质量太差哦
7楼2012-08-28 20:59:01
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