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huranxuyan

银虫 (小有名气)

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[求助] 求助，关于多晶硅的XRD衍射谱

各位虫友，求帮忙哈！最近做了LPCVD沉积的多晶硅薄膜的XRD的实验，在2倍衍射角为60~65度之间，发现一衍射峰，但查找相关文献，没有找到相关信息，我想问大家又没有遇到这种情况哦，它的晶面是多少？附上图，谢谢帮忙咯！

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勤能补拙

1楼2012-05-27 16:39:52

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我是一笼包子

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楼主可以用jade软件分析一下、半高宽很窄说明结晶度很好、但是强度很低，另外好像楼主这样品的噪声很大，一直到60度那个大缓坡才下来，我做的测试一般30度不到就平缓了，不知道是不是测试的问题，希望高手答疑一下

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nofear

2楼2012-05-28 00:37:37

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huranxuyan

银虫 (小有名气)

引用回帖:

2楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2012-05-28 00:37:37
楼主可以用jade软件分析一下、半高宽很窄说明结晶度很好、但是强度很低，另外好像楼主这样品的噪声很大，一直到60度那个大缓坡才下来，我做的测试一般30度不到就平缓了，不知道是不是测试的问题，希望高手答疑一下
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