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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 测试表征 » 求助，关于多晶硅的XRD衍射谱
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huranxuyan

银虫 (小有名气)

[求助] 求助，关于多晶硅的XRD衍射谱

各位虫友，求帮忙哈！最近做了LPCVD沉积的多晶硅薄膜的XRD的实验，在2倍衍射角为60~65度之间，发现一衍射峰，但查找相关文献，没有找到相关信息，我想问大家又没有遇到这种情况哦，它的晶面是多少？附上图，谢谢帮忙咯！
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勤能补拙
1楼 2012-05-27 16:39:52
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我是一笼包子

金虫 (正式写手)
楼主可以用jade软件分析一下、半高宽很窄说明结晶度很好、但是强度很低，另外好像楼主这样品的噪声很大，一直到60度那个大缓坡才下来，我做的测试一般30度不到就平缓了，不知道是不是测试的问题，希望高手答疑一下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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nofear
2楼2012-05-28 00:37:37
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huranxuyan

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 我是一笼包子 at 2012-05-28 00:37:37
楼主可以用jade软件分析一下、半高宽很窄说明结晶度很好、但是强度很低，另外好像楼主这样品的噪声很大，一直到60度那个大缓坡才下来，我做的测试一般30度不到就平缓了，不知道是不是测试的问题，希望高手答疑一下
...

3楼2012-06-20 20:56:17
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wyq0316

银虫 (小有名气)
是否氧化硅的峰？
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4楼2012-07-04 17:20:41
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523275502

新虫 (初入文坛)
我最近做，在65度有你这个强峰
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5楼2017-04-26 09:28:33
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