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关于分压的计算
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zikingma
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专业: 金属材料表面科学与工程
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]
关于分压的计算
看论文的过程中一直不是很明白分压的计算方式。比如当氩气流量是10 SCCM,氮气流量也是10 SCCM的时候,压强为1 Pa,氮分压是0.41Pa吗?当氩气流量是10 SCCM,氮气流量是30 SCCM,压强为2 Pa的时候,氮分压是多少,怎么计算?
[
Last edited by zikingma on 2012-5-25 at 20:44
]
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