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关于分压的计算
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看论文的过程中一直不是很明白分压的计算方式。比如当氩气流量是10 SCCM，氮气流量也是10 SCCM的时候，压强为1 Pa，氮分压是0.41Pa吗？当氩气流量是10 SCCM，氮气流量是30 SCCM，压强为2 Pa的时候，氮分压是多少，怎么计算？ [ Last edited by zikingma on 2012-5-25 at 20:44 ] |
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