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关于缓冲层的问题
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qqxiwuzhiren
铁杆木虫
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[交流]
关于缓冲层的问题
我制备薄膜的时候,在中间做了一层缓冲层,我想知道缓冲层一般都有什么要求,比如厚度,结晶度等等之类的,谁有关于介绍缓冲层的文献或者资料吗?非常感谢
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2012-05-23 14:10:07
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qqxiwuzhiren
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3楼
:
Originally posted by
zhenghui3397
at 2012-05-23 18:03:49:
你用缓冲层的目的是?缓冲层分很多种,就看你的目的了,比如说是减少薄膜裂纹,提高薄膜的结晶性,如果是氧化物薄膜,缓冲层有时候还可以减小氧空位,提高性能。
为了改善目标层的结晶度,和取向
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6楼
2012-05-23 19:14:16
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finetx
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用什么方法制备呢??
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2楼
2012-05-23 17:22:27
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zhenghui3397
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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2012-05-24 07:40:35
你用缓冲层的目的是?缓冲层分很多种,就看你的目的了,比如说是减少薄膜裂纹,提高薄膜的结晶性,如果是氧化物薄膜,缓冲层有时候还可以减小氧空位,提高性能。
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3楼
2012-05-23 18:03:49
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19881112
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★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚度要适中,大约100-200纳米左右吧 , 再就是生长过程 缓冲的生长要缓慢伸张
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8楼
2012-05-30 11:50:36
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qqxiwuzhiren
5楼
2012-05-23 19:13
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2楼
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finetx
at 2012-05-23 17:22:27: 用什么方法制备呢??
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