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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于缓冲层的问题
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 关于缓冲层的问题

我制备薄膜的时候，在中间做了一层缓冲层，我想知道缓冲层一般都有什么要求，比如厚度，结晶度等等之类的，谁有关于介绍缓冲层的文献或者资料吗？非常感谢
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1楼 2012-05-23 14:10:07
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zhenghui3397

新虫 (小有名气)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-24 07:40:35
你用缓冲层的目的是？缓冲层分很多种，就看你的目的了，比如说是减少薄膜裂纹，提高薄膜的结晶性，如果是氧化物薄膜，缓冲层有时候还可以减小氧空位，提高性能。
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3楼2012-05-23 18:03:49
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finetx

铜虫 (小有名气)
用什么方法制备呢？？
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2楼2012-05-23 17:22:27
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenghui3397 at 2012-05-23 18:03:49:
你用缓冲层的目的是？缓冲层分很多种，就看你的目的了，比如说是减少薄膜裂纹，提高薄膜的结晶性，如果是氧化物薄膜，缓冲层有时候还可以减小氧空位，提高性能。

为了改善目标层的结晶度，和取向
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6楼2012-05-23 19:14:16
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19881112

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
厚度要适中，大约100-200纳米左右吧 ， 再就是生长过程 缓冲的生长要缓慢伸张
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8楼2012-05-30 11:50:36
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qqxiwuzhiren5楼
2012-05-23 19:13   回复  
引用回帖:
2楼: Originally posted by finetx at 2012-05-23 17:22:27: 用什么方法制备呢？？

PLD
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