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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)


[交流] 关于缓冲层的问题

我制备薄膜的时候,在中间做了一层缓冲层,我想知道缓冲层一般都有什么要求,比如厚度,结晶度等等之类的,谁有关于介绍缓冲层的文献或者资料吗?非常感谢
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finetx

铜虫 (小有名气)


用什么方法制备呢??
2楼2012-05-23 17:22:27
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zhenghui3397

新虫 (小有名气)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-24 07:40:35
你用缓冲层的目的是?缓冲层分很多种,就看你的目的了,比如说是减少薄膜裂纹,提高薄膜的结晶性,如果是氧化物薄膜,缓冲层有时候还可以减小氧空位,提高性能。
3楼2012-05-23 18:03:49
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qqxiwuzhiren

铁杆木虫 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by zhenghui3397 at 2012-05-23 18:03:49:
你用缓冲层的目的是?缓冲层分很多种,就看你的目的了,比如说是减少薄膜裂纹,提高薄膜的结晶性,如果是氧化物薄膜,缓冲层有时候还可以减小氧空位,提高性能。

为了改善目标层的结晶度,和取向
6楼2012-05-23 19:14:16
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19881112

金虫 (正式写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
厚度要适中,大约100-200纳米左右吧 , 再就是生长过程 缓冲的生长要缓慢伸张
8楼2012-05-30 11:50:36
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简单回复
2012-05-23 19:13   回复  
PLD
2012-05-23 19:13   回复  
引用回帖:
2楼: Originally posted by finetx at 2012-05-23 17:22:27: 用什么方法制备呢??

PLD
wht31987楼
2012-05-24 16:11   回复  
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