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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » MOCVD外延时，金属源的使用，有时用sccm，有时用mol/min，大家一般用那个？
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MANOWAR

金虫 (正式写手)

[交流] MOCVD外延时，金属源的使用，有时用sccm，有时用mol/min，大家一般用那个？

大家一般用那个？两者关系如何？
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1楼 2012-05-20 10:27:10
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梦回盛唐

铁杆木虫 (职业作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是气相沉积    我用SCCM
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4楼2012-05-21 19:00:31
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yyman660

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
Aix的recipe里头是sccm
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2楼2012-05-20 16:00:15
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hezhiyuan

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:43:55
一般recipe中是SCCM
根据源的恒温槽温度，源的气压换算为mol/min，一般外延资料中都有换算公式，你可以查一下
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3楼2012-05-20 18:26:04
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