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MANOWAR

金虫 (正式写手)


[交流] MOCVD外延时,金属源的使用,有时用sccm,有时用mol/min,大家一般用那个?

大家一般用那个?两者关系如何?
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yyman660

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
Aix的recipe里头是sccm
2楼2012-05-20 16:00:15
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hezhiyuan

新虫 (初入文坛)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-05-21 07:43:55
一般recipe中是SCCM
根据源的恒温槽温度,源的气压换算为mol/min,一般外延资料中都有换算公式,你可以查一下
3楼2012-05-20 18:26:04
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梦回盛唐

铁杆木虫 (职业作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我是气相沉积    我用SCCM
4楼2012-05-21 19:00:31
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一世恋颜

新虫 (初入文坛)


我这儿是  sccm
5楼2013-06-04 16:16:01
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